저스템, AI 기술로 반도체공정 해결과제 '습도' 잡는다

반도체 습도제어 전문 장비사 저스템이 습도제어 장비 JFS(Jet Flow Straightener)에 AI를 탑재하며 성능을 극대화했다.

반도체 습도제어 전문 장비회사인 저스템은 현재 글로벌 반도체 기업을 대상으로 공급 중인 2세대 습도제어 솔루션 JFS를 첨단 AI기반의 정밀제어시스템으로 고도화하는 ‘AIP-JFS(AI Powerd- JFS)’를 개발했다고 11일 밝혔다

경기 용인시에 위치한 저스템 본사.(사진=저스템)

저스템이 개발한 AIP-JFS(AI Powerd – JFS)는 JFS의 습도제어 성능을 각 생산라인의 공정과 설비 등 환경에 최적화되도록 프로그래밍하고 AI가 기류흐름을 분석해 속도 및 강도를 제어함으로써 생산라인의 안정성을 극대화하는 것이 핵심이다.

AIP-JFS(AI Powerd – JFS)의 안정성은 생산성 향상과도 직결된다. AI를 활용해 데이터의 분석시간을 단축하고 기존보다 빠른 시간내에 습도를 제어함으로써 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다. JFS의 습도제어 최적화에 소요되는 기존 시간을 60% 이상 줄일 수 있게 돼 생산능력도 배가된다.

반도체 제품은 극도로 미세화되면서 습도제어를 통한 수율향상이 시장의 첨예한 관심이 되고 있다. JFS는 이러한 요구에 부응해 저스템이 원천 특허기반으로 습도제어를 위해 만든 세계최초 기류제어 제품이다. 풉(foup)의 내부습도를 최대 1%이하로 제어함으로써 습도문제를 해결하고 수율 향상을 돕는다.